主要特点:
(1) 标准配置:
原子力显微镜(AFM):包括接触、轻敲、相移成像(Phase Imaging)等多种工作模式
横向力显微镜(LFM):具有摩擦力回路曲线、摩擦力载荷曲线、摩擦力恒载荷曲线等摩擦学性能分析测量功能
扫描隧道显微镜(STM):包括恒流模式、恒高模式、I-V曲线、I-Z曲线等
曲线测量分析功能:力-距离曲线、振幅-距离曲线、相移-距离曲线等
(2)选配功能:
纳米加工:包括图形刻蚀模式、压痕/机械刻画、矢量扫描模式、DPN浸润笔模式等;
磁力显微镜/静电力显微镜;
环境控制扫描探针显微镜;
液相扫描探针显微镜;
导电原子力显微镜;
扫描探针声学显微镜;
扫描开尔文探针显微镜;
扫描电容显微镜;
压电力显微镜