技术参数：

　　原子力显微镜测量模式: 接触式原子力显微镜，真正非接触式原子力显微镜，横向力/摩擦力显微镜(LFM)，导电原子力显微镜，磁力显微镜(MFM)，开尔文探针(Kelvin Probe)，扫描热原子力显微镜(SThM)，电容和静电力显微镜(EFM)，高级的纳米光刻和纳米操作能力，音叉原子力显微镜，三维扫描成像。

　　● 原子力显微镜扫描器zei大测量范围：110um X & Y range，22um Z range

　　● 大尺寸样品台，全自动测量zei大直径为160mm样品。

　　● PZT/Voice Coil双模式技术AFM

　　● 全自动运动平台，马达驱动

　　● zl批处理软件，自动图像拼接缝合技术，可以测量超大样品的三维形貌像

　　● 先进的32-bit DSP控制器，zl反馈技术(扫描范围>10um时zei高扫描20 Hz,消除爬行现象)

　　● 可以进行纳米压痕和划痕实验

　　● zl光学系统， XY闭环扫描技术

　　● 独特开放性软硬件构架设计, 并开放所有源代码供您的二次开发