技术参数：

　　Nanonics近场光学扫描电镜

　　1、扫描范围：XY方向140um、Z方向70um，另外有30um和10um扫描器选配

　　2、扫描步进：XY方向<5nm、Z方向<1nm

　　3、反馈机制：音叉反馈(resonant frequency approximately 32 KHz);

　　Renishaw激光微拉曼光谱仪

　　1、可与任何一款Renishaw激光微拉曼光谱仪连用，具体技术参数根据客户需求