Park Systems原子力显微镜 XE-100参数指标

　　技术参数：

　　技术参数(机械部分)：

　　1. XY扫描器：50µm×50µm(闭环)，可选配100µm×100 µm(闭环)

　　2. Z扫描器：12µm (可选配25µm)

　　3. 水平度：50µm线扫描垂直偏差不超过±1nm

　　4. XY和Z扫描器的正交性：1.0°

　　5. 样品台移动范围：25mm×25mm(X/Y)，27.5mm (Z)

　　6. 样品尺寸：100mm×100mm

　　7. 光学观察：垂直光路设计，可直接观察微悬臂和样品

　　技术参数(电子部分)

　　1. 微处理器：600MHz，4800MIPS DSP

　　2. 模数/数模：16位，500kHz采样频率

　　3. 图像采集：同步自动采集16幅图像，分辨率高达4096×4096像素

　　4. 通讯方式：采用基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接

　　5. 符合CE认证标准

　　标准工作模式：

　　 真正非接触模式(True non-contact mode)

　　 接触模式(contact mode)

　　 相位模式(phase imaging)

　　 横向力模式(LFM)

　　扩展工作模式：

　　 力测量(Force measurements)

　　 导电(Conductive AFM)

　　 电力(Electric Force)

　　 电子 (Electrical)

　　 磁性 (Magnetical)

　　 机械 (Mechanical)

　　 热 (Thermal)