可控气氛扫描探针显微...
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气体引入机理：单流路自动控制

泵：机械泵160L/min，分子涡轮泵50L/sec

SPM-9700主要技术指标：

主要技术指标

观察模式 标准 接触模式
动态模式
相位模式
水平力模式（LFM）
力调制模式
矢量扫描模式
选购件 磁力（MFM）模式）
电流模式
表面电位（KFM）模式
分辨率 XY 0.2 nm
Z 0.01 nm
AFM头部 位移监测系统 光源/光杠杆/检测器
光源 激光二极管（On/Off均可）
更换样品无需调整光路
检测器 光敏二极管
扫描器 驱动元件 管状压电元件
zei大扫描范围
（X*Y*Z）		 30μm×30μm×5μm　（标准）
125μm×125μm×7μm　（选购）
55μm×55μm×13μm　（选购）
2.5μm×2.5μm×0.3μm　（选购）
样品台 zei大样品形状 φ24mm×8mm
样品装载方式 头部滑动机构
悬臂安装状态下可直接装载样品
样品固定方式 磁性固定
Z轴驱动机构 驱近方式 全自动驱近
zei大可驱近范围 10mm
信号显示板 显示量 检测器的总入射光量（数字显示）
减震机构 减震台 SPM单元内置
光学显微镜观察 方式 分束器滑动机构
专用风挡 方式 无需或者使用气氛控制腔体
气氛控制 方式 无需改造SPM单元可直接导入气氛腔体

扫描范围：0.1nm扫描器zei大扫描范围

测定像素：2048*2048,1024*1024,512*512,258*258,128*128,64*64,32*32


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