元素范围:原子序数Z≥1(包括C、H、O、N、Li、Be、B等所有元素)
浓度范围:10ppm至%级别
分析时间:一般20s左右
样品制备:固体或是压成片状的粉末
样品放置及定位:可自由变换XYZ轴,行程可达5cm;微米级别高精度定位控制
样品成像:双相机配置,广角视野级高倍微观视野
zei低样品质量:~100pg至10μg,取决于样品
zei大样品尺寸:约12.7cm×22.8cm×12.7cm
分析光斑尺寸:可调,zei小:<10μm(取决于λ),zei大:500μm
分析深度:~1-100μm,取决于材料和激光的能量
激光能量计量:0-400mJ/脉冲±5%