卓越的空间分辨率

　　电子探针可达到的zei高级别的二次电子图像分辨率3nm（加速电压30kV），分析条件下No.1的二次电子分辨率。

　　（加速电压10kV时20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA）

　　 大束流超高灵敏度分析

　　实现3.0μA（加速电压30kV）的zei大束流。可超高灵敏度进行超微量元素的面分析。并且全束流范围无需更换物镜光阑。