温度控制范围

氦气纯化器

温度波动

1%

气密度

从裂解器的入口处充入0.2Mpa气体，堵住出口，半小时内压力不下降0.01Mpa。

加热功率

300W

作用条件

环境温度：室温-45℃

相对湿度：≤85%

无强烈的机械振动和强干扰电磁场存在空气新鲜。

裂解器： 170×65×70（mm）2)温度控制器：280×120×230（mm）