zei全面的MEMS测量解决方案

•  快速、准确、非接触式的微器件静态/动态3D表征

• 11Hz到2.4MHz超宽测量频率范围，完整周期内

全面的器件动态分析频率、振幅和相位响应表征

• 纵向分辨率小于1nm

•  在动态和静态模式下准确测量0.1nm至10mm高度范围内的特征形貌