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| 二次电子图象分辨率： | 0.8nm | 加速电压： | 0.01-30KV |
| 放大倍数： | 20-1000000X | 价格区间： | 400万-500万 |
| 仪器种类： | 场发射 |
| SU8220 | SU8230 | SU8240 | ||
|---|---|---|---|---|
| 二次电子分辨率＊1 |
0.8 nm (Vacc 15 kV, WD=4 mm, 放大倍数 270 k×) 1.1 nm (着陆电压 1 kV, WD=1.5 mm, 放大倍数 200 k×)＊2 | |||
| 着陆电压 | 0.01～30kV | |||
| 放大倍数 | 20-1,000,000×＊3 | |||
| 样品台控制 | 5轴马达台 | 5轴马达台 |
5轴马达台 Regulus 样品台＊4 | |
| 行程范围 | X | 0～50mm | 0～110mm | 0～110mm |
| Y | 0～50mm | 0～110mm | 0～80mm | |
| R | 360° | |||
| Z | 1.5～30mm | 1.5～40mm | 1.5～40mm | |
| T | -5～70° | |||
| 样品台回位精度 | - | - | ±0.5µm或以下 | |
*1：使用日立高新技术样品在扫描电子显微镜图像测量zei小的粒子间隙
*2：减速模式观察
*3：基于127 mm x 95 mm底片指定的放大倍数
*4：Regulus（REGULated Ultra Stable：日立高新技术高性能样品台)是日立高新技术公司在日本和美国的注册商标。