SU3500日立高新扫描电子显微镜参数指标

参数指标

项目	描述
二次电子分辨率	3.0 nm(加速电压=30 kV，WD=5 mm高真空模式) 7.0 nm(加速电压=3 kV，WD=5 mm高真空模式)
背散射电子分辨率	4.0 nm(加速电压=30 kV，WD=5 mm低真空模式) 10.0 nm(加速电压=5 kV，WD=5 mm高真空模式)
放大倍率	5 - 300,000倍(底片倍率＊5） 7 - 800,000倍(显示器显示倍率＊6）
加速电压	0.3～30kV
可变压力范围	6～650Pa
最大样品尺寸	直径 200 mm
样品台	X	0～100mm
Y	0～50mm
Z	5～65mm
R	360°
T	-20～90°
可观察区域	直径 130 mm(旋转并用)
最大样品高度	80mm（WD＝10mm）
马达台	5轴标配
电子光学系统	电子枪	预对中的钨灯丝
物镜光阑	4孔可动光阑
探检测器	埃弗哈特索恩利二次电子探测器高灵敏度半导体背散射电子检测器
EDX分析 WD	10 mm(取出角35°)
图像显示	操作系统	Windows®7(有更改，恕不另行通知)
图像显示模式	全屏模式(1,280 × 960 像素) 小屏模式(800 × 600 像素) 双图像显示(800 × 600 像素) 四屏幕显示(640 × 480像素) 信号混合模式
排气系统	操作	全自动排气
涡轮分子泵	261升/秒 × 1
机械泵	135 L/min.(162 L/min.，60Hz) × 1