【技术参数】

    分辨率： 3.0nm@ 30KV(SE and W)  4.0nm@ 30KV(VP with BSD) 

    加速电压：0.2—30KV 

    放大倍数：7—1000000x 

    探针电流：0.5PA-5μA

    X-射线分析工作距离：8.5mm    35度接收角 

    低真空压力范围：10—400Pa (LS10:10-3000Pa)

    工作室：310mm(φ)×220mm(h) 

    5轴优中心自动样品台：X=80mm  Y=100mm  Z=35mm  T=-10°- 90°°R=360°

    zei大试样高度：100mm，zei大试样直径：200mm 

    系统控制：基于Windows 7 的SmartSEM操作系统