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| 项目 | 描述 | ||
|---|---|---|---|
| 分辨率 | 二次电子分辨率 | 30 kV，3.0 nm(高真空模式) | |
| 3 kV，10 nm(高真空模式) | |||
| 背散射电子分辨率 | 30 kV，4.0 nm(高真空模式) | ||
| 放大倍率 | ×5 - ×300,000 | ||
| 加速电压 | 0.3 - 30 kV | ||
| 低真空范围 | 6 - 270 Pa 图形菜单 | ||
| 图像移动 | ±50 µm, WD = 10 mm | ||
| zei大样品尺寸 | φ200 mm | ||
| 样品台 | I型 | II型 | |
| X | 0 - 80 mm | 0 - 100 mm | |
| Y | 0 - 40 mm | 0 - 50 mm | |
| Z | 5 - 35 mm | 5 - 65 mm | |
| R | 360° | 360° | |
| T | -20 - 90° | -20 - 90° | |
| zei大样品高度 | 35 mm (WD = 10 mm) | 80 mm (WD = 10 mm) | |
| 可观测区 | φ105mm | φ130mm | |
| 驱动类型 | 手动 | 5轴马达驱动 | |
| 电子光学 | 电子枪 | 预对中钨灯丝 | |
| 物镜光阑 | 可移动4孔物镜光阑 | ||
| 枪偏压 | 4偏压 | ||
| 探测器 | 二次电子探测器高灵敏度半导体背散射电子探测器 | ||
| 分析位置 | WD = 10mm, 取出角 = 35° | ||
| 显示器 | 语言 | 英语 | |
| 操作系统 | Windows®XP | ||
| 控制模式 | 鼠标，键盘，旋钮 | ||
| 显示器 | 19英寸液晶显示器(如有更改，恕不另行通知) | ||
| 自动校准 | 自动设定束流，自动合轴 | ||
| 自动画面调整 | 自动聚焦，自动消象散/聚焦，自动调亮度和对比度 | ||
| 存储图像精度 | 640 × 480 像素, 1,280 × 960 像素, 2,560 × 1,920 像素, 5,120 × 3,840 像素 | ||
| 图像存档 | 搜索功能/内置图像数据库和图像处理功能 | ||
| 图像格式 | BMP, TIFF, JPEG | ||
| 自动数据显示 | 加速电压，放大倍率，微标尺，单位，底片号码，工作距离，日期/时间，检测器，压力值 | ||
| 图像显示模式 |
全屏模式：1,280 × 960 像素 小屏模式：640 × 480 像素 双屏模式：640 × 480 像素 ×2 信号混合模式 | ||
| 真空系统 | 操作 | 全自动程序 | |
| 涡轮分子泵 | 210L/Sec. × 1 | ||
| 机械泵 | 135 L/Min.(162 L/Min，60 Hz) × 1 | ||
| 安全措施 | 断电保护，漏电保护 | ||
| 辅助功能 | 光栅旋转 | ||
| 动态聚焦/倾斜补偿功能 | |||
| 动态消像散 | |||
| 自由排版打印功能 | |||
| 三维动画维修指南 | |||
| 测量方便 | |||
| 图像倾斜 | |||
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