日立高新SU9000超高分辨率场发射扫描电子显微镜 参数指标

项目

 技术指标

二次电子分辨率

0.4nm （加速电压30kV，放大倍率80万倍）

1.2nm （加速电压1kV，放大倍率25万倍）

STEM分辨率

0.34nm（加速电压30kV，晶格象）

观测倍率

底片输出

显示器输出

LM模式

80~10,000x

220~25,000x

HM模式

800~3,000,000x

2,200~8,000,000x

样品台

侧插式样品杆

样品移动行程

X

±4.0mm

Y

±2.0mm

Z

±0.3mm

T

±40度

标准样品台

平面样品台：5.0mm×9.5mm×3.5mmH

截面样品台：2.0mm×6.0mm×5.0mmH

专用样品台

截面样品台：2.0mm×12.0mm×6.0mmH

双倾截面样品台：0.8mm×8.5mm×3.5mmH

信号检测器

二次电子探测器

TOP 探测器（选配）

BF/DF 双STEM探测器（选配）