日立高新SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜参数指标
|
二次电子分辨率 |
1.2nm@30KV |
|
3.0nm@1KV |
|
4.5nm@30KV,150Pa |
|
背散射电子分辨率 |
3.5nm@30KV |
|
放大倍率 |
10~600,000（输出尺寸127x96mm） |
|
电子枪类型 |
热场发射 |
|
探针电流 |
1pA~200nA |
|
加速电压 |
0.5~30KV |
|
物镜光阑 |
自清洁、4孔可动式 |
|
束闸 |
电磁式 |
|
样品台 |
电脑控制的5轴优中心马达样品台 |
|
X |
0~110mm |
|
Y |
0~110mm |
|
Z |
4~40mm |
|
T |
-5°~+70° |
|
R |
360° |
|
zei大样品尺寸 |
直径150mmx 高40mm |
|
探头 |
二次电子探头 |
|
背散射电子探头 |
返回 日立高新SU6600配有VP... 
我要纠错