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项目 |
参数 |
指标 |
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基本单元（稀释配气部分） |
稀释气流量范围 |
0～5SLM、0～10SLM、0～20SLM可选 |
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标气流量范围 |
0～50sccm、0～100sccm、0～200sccm可选 |
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流量控制准确度 |
±1% F.S. |
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流量线性 |
±（0.5～1）% F.S. |
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流量控制重复性 |
±0.2% F.S. |
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标气输入口 |
4个 |
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稀释气输入口 |
1个 |
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响应时间 |
﹤60s（98%） |
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臭氧发生器 |
输出 |
0.1～6ppm |
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稳定性 |
﹤1%/7d（有光度计）；﹤3%/7d（无光度计） |
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线性度 |
﹤1%（有光度计）；﹤3%（无光度计） |
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臭氧光度计 |
量程 |
（0～0.1）ppm，（0～10）ppm |
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准确度 |
1.0 ppb |
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线性度 |
1% F.S. |
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上升/下降时间 |
﹤20s |
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响应时间 |
180s（98%） |
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零点漂移 | <1.0 ppb / 7d |
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量程漂移 | <2% /7 d |
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整机 |
电源 |
100～240V AC；45～55Hz |
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仪器尺寸（H X W X D） |
（178X432 X609）mm |
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重量 | <15kg（基本单元）<20kg（包括臭氧发生器及臭氧光度计） |
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工作温度 |
0～40℃ |
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工作湿度 |
0～95% RH |
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通讯方式 |
支持RS232、RS485通讯 |
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