规格
项目 | 内容 | |
IM4000PLUS | IM4000PLUS | |
断面研磨杆 | 平面研磨杆 | |
使用气体 | Ar(氩)气 | |
加速电压 | 0 ~ 6 kV | |
最大研磨速度(Si材料) | 500 µm/hr*1 以上 | - |
最大样品尺寸 | 20(W)× 12(D)× 7(H)mm | Φ50 × 25(H) mm |
离子束 | 标配 | |
间歇照射功能 | ||
尺寸 | 616(W)× 705(D)× 312(H)mm | |
重量 | 机体48 kg+回转泵28 kg | |
附冷却温度调节功能的IM4000PLUS | ||
冷却温度调节功能 | 通过液氮间接冷却样品、温度设定范围:0°C ~ -100°C | |
选项 | ||
空气隔离 | 仅支持断面研磨夹持器 | - |
样品夹持器 | ||
FP版断面研磨夹持器 | 100 µm/rotate*2 | - |
用于加工监控的显微镜 | 倍率 15 × ~ 100 × 双目型、三目型(支持CCD) |
*1 将Si从遮挡板边缘伸出100 µm并加工1小时的最大深度
*2 千分尺旋转1圈时的遮挡板移动量。断面研磨夹持器比为1/5