光谱重复性 | <=0.1cm-1 | zei低波数 | 10cm-1 |
光谱范围 | 100~4000cm-1 | 空间分辨率 | XY~1um,Z~2um |
光谱分辨率 | <=1cm-1 |
1、从SEM (SEI和BEI) 获得形貌和平均原子数
2、从EDS分析获得元素成分
3、从拉曼光谱获得化学成分和物质鉴定
4、从拉曼光谱获得物理结构(晶体的及力学数据)
5、从阴极发光 (CL) 和光致发光 (PL) 获得电子及物理结构信息
SEM-拉曼使您能够在单一系统内全面地原位表征样品性能。两种技术的联用方式使我们对便捷、效率和生产力有了新的定义。
雷尼绍结构与化学成分分析仪 (SCA) 接口使扫描电镜 (SEM) 具有了inVia的拉曼分析能力。
inVia和SCA接口提供了一种SEM内的分析技术,既补充了以光学显微镜为基础的拉曼光谱,又克服了X射线能量散射谱 (EDS) 作为传统SEM内的分析技术的局限性。采用雷尼绍SEM-拉曼联用系统,您将受益于定位共同点的形貌、元素、化学、物理和电子分析。
使用SEM记录样品的高分辨图像,并进行元素分析。增加拉曼分析样品化学信息的能力,以识别材料和非金属化合物,即使当这些物质具有相同的化学计量结果时也不例外。
SCA和inVia不仅可以测试拉曼光谱,还可以进行光致发光 (PL) 和阴极射线发光 (CL) 光谱测试。