吉时利4200A-SCS/4200-SCS型半导体特性分析系统参数指标

主要性能指标

I-V 源测量单元 (SMU)

● ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块

● 100 fA 测量分辨率

● 选配前端放大器提供了 0.1 fA 测量分辨率

● 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量

● 四象限操作

● 2 线或 4 线连接

C-V 多频率电容单元 (CVU)

● AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)

● 1 kHz - 10 MHz 频率范围

● ± 30 V (60 V 差分 ) 内置 DC 偏置源，可以扩展到 ± 210 V(420 V 差分 )

● 选配 CVIV 多功能开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换

脉冲式 I-V 超快速脉冲测量单元 (PMU)

● 两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道

● 200 MSa/s，5 ns 采样率

● ±40 V (80 V p-p)，±800 mA

● 瞬态波形捕获模式

● 任意波形发生器 Segment ARB® 模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率

高压脉冲发生器单元 (PGU)

● 两个高速脉冲电压源通道

● ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA

● 任意波形发生器 Segment ARB® 模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率

I-V/C-V 多开关模块 (CVIV)

● 在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换，无需重新布线或抬起探针

● 把 C-V 测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针远程前端放大器 / 开关模块 (RPM)

● 在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换

● 把 4225-PMU 的电流灵敏度扩展到数十皮安

● 降低电缆电容效应