高精度实时三维分析FIB-SEM三束系统 NX9000参数指标

参数指标

项目		内容
SEM	电子源	冷场场发射型
	加速电压	0.1 ～ 30 kV
	分辨率	2.1 nm@1 kV
	分辨率	1.6 nm@15 kV
FIB	离子源	镓
	加速电压	0.5 ～ 30 kV
	分辨率	4.0 nm@30 kV
	最大束流	100 nA
标准探测器		In-colum二次电子探测器/In-colum背散射电子探测器/
标准探测器		样品室二次电子探测器
样品台	X	0 ～ 20 mm *2
	Y	0 ～ 20 mm *2
	Z	0 ～ 20 mm *2
	θ	0 ～ 360° *2
	τ	-25 ～ 45° *2
最大样品尺寸		正方形边长6 mm × 厚度2 mm