蔡司Gemini Sigma 300...

蔡司Gemini Sigma 300/VP SEM超高分辨率场发射扫描电镜参数指标

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技术参数

分辨率: 0.8nm @15 kV;1.4nm @1kV

放大倍数:12-2,000,000×

加速电压调整范围:0.02-30 kV(无需减速模式实现)

探针电流: 3pA-20nA100nA可选)

低真空范围: 10-500Pa GeminiSEM300 VP可用

样品室: 330 mmφ270 mmh

样品台:5轴优中心全自动   

X=130mm

Y=130mm

Z=50 mm

T=-3o-70o

R=360o 连续

系统控制基于Windows 7SmartSEM操作系统可选鼠标、键盘、控制面板控制

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