蔡司SIGMA 500/VP高分辨率场发射扫描电镜参数指标

　【技术参数】

　　分辨率： 0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV

　　放大倍数：10-1,000,000×

　　加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）

　　探针电流： 4pA-20nA （40nA&100nA可选）

　　低真空范围：2-133Pa（Sigma 500VP可用）

　　样品室： 358 mm（φ），270.5 mm（h）

　　样品台：5轴优中心全自动

　　X=125 mm（可选130mm）

　　Y=125 mm（可选130mm）

　　Z=50 mm

　　T=-10o-90o

　　R=360o 连续

　　系统控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制