蔡司MERLIN Compact超高分辨率场发射扫描电镜技术特点

【技术特点】-- 蔡司MERLIN Compact超高分辨率场发射扫描电镜

【总体描述】

ZEISS的MERLIN Compact场发射扫描电镜全部采用新一代zl镜筒（GEMINI）设计，具有优良的高、低加速电压性能；创新的InlensDuo探测器设计是目前世界上唯一真正的内置镜筒电子束光路上的探测器，其具有zei佳的灵敏度和zei高的接收效率，而且可接收来自样品表面的二次电子和背散射电子，因此具有业界zei高等级的分辨率和图像质量，试样的工作距离不受背散射探测器的影响，可以非常接近极靴，这样可以获得zei高的二次电子像分辨率和背散射电子像分辨率，且接收的背散射电子的能量可以控制。创造性的采用电磁、静电复合式物镜，杂散磁场小，可对铁磁体样品进行高分辨率成像。

在SUPRA™场发射扫描电子显微镜基础上发展起来的MERLIN Compact 场发射扫描电子显微镜是用于纳米结构分析的电子束成像仪器中的佼佼者，它接收效率高、可以超高分辨率成像。zei新开发的InlensDuo探测器和角度选择式背散射电子探测器（AsB）则代表了著名的GEMINI®技术的zei新发展。

【技术特点对用户带来的好处】-- 蔡司MERLIN Compact超高分辨率场发射扫描电镜

【典型应用举例】-- 蔡司MERLIN Compact超高分辨率场发射扫描电镜