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典型规格*1
| [分辨率] | |
| STEM | 2.0 nm (1000 kV) |
| TEM (晶格, 点) | 0.16 nm (点, 1000 kV) 0.10 nm (晶格, 1000 kV) |
| [放大倍率] | |
| STEM | x 20,000 ～ x 2,000,000 |
| TEM | x 200 ～ x 1,200,000 |
| [电子源] | |
| 电子源 | LaB6 |
| 加速电压*2 | 800, 1000 kV |
| [稳定度] | |
| 加速电压 | ≦8 x 10-7/min |
| 物镜电流 | ≦5 x 10-7/min |
| [样品系统] | |
| 样品台 (测角仪) | 全对中样品台 |
| 样品尺寸 | 3 mmφ |
| zei大倾斜角 | *3 |
| 行程范围 (mm) | X, Y: ±1 Z:±0.5 |
| [选配] *4 | |
*1 : 如有特殊要求请另行咨询。
*2 : 其它加速电压, 请另行咨询。
*3 : 该角度高度依赖于样品架的物理尺寸. 请另行咨询。
*4 : 如有特殊要求请另行咨询