JEM-3200FS 场发射透...
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物镜种类*1极高分辨率
(UHR)型
高分辨率
(HR)型
样品高倾斜
(HT)型
高衬度
(HC)型
分辨率
 点分辨率
 晶格分辨率
0.17nm
0.1nm
0.19nm
0.1nm
0.21nm
0.1nm
0.26nm
0.14nm
能量分辨率0.9 eV(零损失FWHM)
加速电压300kV,200kV,100kV*2
 zei小步长
 能量位移
100V
zei大3,000V (以0.2V为步长)
电子枪
 发射体ZrO/W(100) 肖特基式
 亮度≧7×108 A/cm2 ・ sr
 真空度3×10-8Pa
 探针电流探针直径为1nm时,电流在0.5nA以上
稳定度
 加速电压2×10-6/min
 物镜电流1×10-6/min
 过滤器透镜电流1×10-6/min
物镜
 焦距2.7 mm3.0 mm3.5 mm3.9 mm
 球差系数0.6 mm1.1 mm1.4 mm3.2 mm
 色差系数1.5 mm1.8 mm2.2 mm3.0 mm
 zei小焦距步长1.0 nm1.4 nm1.5 nm4.1 nm
束斑尺寸
 TEM 模式2 ~ 5 nmφ2 ~ 5 nmφ7 ~ 30 nmφ
 EDS 模式0.4 ~ 1.6 nmφ0.5 ~ 2.4 nmφ4 ~ 20 nmφ
 NBD 模式0.4 ~ 1.6 nmφ0.5 ~ 2.4 nmφ-
 CBD 模式0.4 ~ 1.6 nmφ0.5 ~ 2.4 nmφ-
电子束衍射
 衍射角(2α)1.5 t~ 20 mrad-
 取出角±10 °-
倍率
 MAG 模式×2,500 ~ 1,500,000×2,000 ~ 1,200,000×1,500 ~ 1,200,000
 LOW MAG 模式×100 ~ 3,000
 SA MAG 模式×8,000 ~ 600,000×6,000 ~ 500,000×5,000 ~ 500,000
视野10eV时狭缝宽度60mm(底片上)
2eV时狭缝宽度25mm(底片上)
相机长度
 选区电子衍射200 ~ 2,000 mm250 ~ 2,500 mm400 ~ 3,000 mm
EELS 散射
 能量选择0.85 μm/eV , 300 kV
 在能量选择狭缝上100 ~ 220 μm/eV , 300kV
样品室
 样品移动范围 (X,Y;Z)X,Y : 2 mm
Z : 0.2 mm
X,Y : 2 mm
Z : 0.4 mm
 样品倾斜角 (X/Y)±25°/±25°*3±35°/±30°*3±42°/±30°*3±38°/±30°*3
EDS*4
 固体角0.13 sr0.09 sr
 取出角25°20°

 

*1 :  订货时请指定物镜种类。
*2 :  加速电压为100、200kV时,使用加速管短路开关(选配件)。
*3 : 使用样品双倾样品杆(EM-31630)。
*4 : 需要EDS系统(选配件),使用规格为30mm2的检测器时的数値。




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