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| 分辨率 | 0.7 nm(15 kV)、0.7 nm(1 kV) 分析模式：3.0 nm (5kV、WD10mm、5nA) | ||
| 倍率 | × 25 ～ × 1,000,000 | ||
| 加速电压 | 0.01kV ～ 30kV | ||
| 束流 | 数pA～500nA | ||
| 自动光阑角zei佳控制透镜 | 内置 | ||
| 检测器 | 高位检测器(UED) 低位检测器(LED) | ||
| 能量过滤器 | UED过滤器电压可变功能内置 | ||
| Gentle Beam模式 | 内置 | ||
| 样品台 | 全对中测角样品台、5轴马达驱动 | ||
| 样品移动范围 | X:70mm, Y:50mm Z: 2mm to 25mm 倾斜－5 ～ ＋70° 旋转360° | ||
主要选配件
能谱仪（EDS)
波谱仪（WDS）
电子背散射衍射系统（EBSD)
阴极荧光系统（CLD）
| 分辨率 | 0.7 nm(15 kV) 0.7 nm(1 kV) 3.0 nm (5kV、WD10mm、5nA) | ||
| 倍率 | x25 ～ x1,000,000(SEM) | ||
| 加速电压 | 0.01kV ～ 30kV | ||
| 样品照射电流(探针电流) | 数pA～500nA | ||
| 自动光阑角zei佳控制透镜 | 内置 | ||
| 检测器 | 高位检测器(UED) 低位检测器(LED) | ||
| 能量过滤器 | UED过滤器电压可变功能内置 | ||
| Gentle Beam （GB模式即柔和光束） (样品偏压) | 内置 | ||
| 数字图像 | 1,280 x 960 像素, 800 x 600 像素 | ||
| 样品交换室 | 由TYPE2A构成 | ||
| 样品台 | 全对中测角样品台、5轴马达驱动 | ||
| X-Y | X:70mm, Y:50mm | ||
| 倾斜 | -5 ～ +70° | ||
| 旋转 | 360° | ||
| 工作距离 | 2mm to 25mm | ||
| 真空系统 | SIP 2台、TMP、RP | ||
| 节能设计 | 正常运行时: 1.3kVA 节能模式时: 0.8ｋV | ||
能谱仪（EDS)
波谱仪（WDS）
电子背散射衍射系统（EBSD)
阴极荧光系统（CLD）