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| 电子枪 | 肖特基场发射 | ||
| 物镜 | semi-in-lens物镜 | ||
| 分辨率 | 1.0 nm @ 15 kV、1.3 nm @ 1 kV 分析模式：3.0 nm @ 15kV WD8mm 5nA | ||
| 加速电压 | 0.1～30kV | ||
| 束流 | 几pA ～ 200nA @ 15 kV | ||
| 自动光阑角zei佳控制透镜 | 内置 | ||
| 倍率 | x 25 ～ x 1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×75～×3,000,000(1280 x 960 pixels display); | ||
| 检测器 | 高位检测器（SED） 低位检测器（LED） | ||
| 能量过滤器 | r-能量过滤器 | ||
| Gentle Beam模式 | 内置 | ||
| 样品交换室 | 内置（具有干燥氮气导入功能） 气锁式、可交换的zei大样品：φ100mm×40mmH | ||
| 样品台 | 5轴马达驱动、全对中测角样品台 | ||
| 样品移动范围 | X: 70 mm , Y: 50 mm，Z: 1.0～25 mm，倾斜:-5～70°, 旋转: 360° | ||
选配*
可插拔式背散射电子检测器（RBEI,* ）
低角度背散射电子检测器（（LABE*）
波谱仪（WDS）
能谱仪（EDS*,**)
电子背散射衍射装置（EBSD)
透射电子检测器（STEM)
阴极荧光系统（CLD)
| 分辨率 | 1.0nm (15kV) , 1.3nm (1kV) , 分析当中 3.0 nm (15 kV、 束流电流 5 nA) | ||
| 倍率 | 25 to 1,000,000 | ||
| 加速电压 | 0.1kV to 30kV | ||
| 探针电流 | 数 pA ～ 200nA | ||
| 自动光阑角zei佳控制透镜 | 内置 | ||
| 检测器 | 高位检测器（SED）、低位检测器（LDD） | ||
| 能量过滤器 | SP r-能量过滤器 | ||
| Gentle Beam （样品偏压） | 内置(施加样品偏压 0～ 2kV) | ||
| 样品台 | 5轴马达驱动 全对中测角样品台 | ||
| 型 | Type IA 2 | Type II (Optional) | Type III (Optional) |
| X-Y | 70mm×50mm | 110mm×80mm | 140mm×80mm |
| 倾斜 | -5° to ～＋70° | -5° to ＋70° | -5° to ＋70° |
| 旋转 | 360°endless | 360°endless | 360°endless |
| WD | 1.0mm ～ 40mm | 1.0mm ～ 40mm | 1.0mm ～ 40mm |
| 真空系统 | Two SIPs, TMP, RP | ||
可插拔式背散射电子检测器 (RBEI)
低角度背散射电子检测器 (LABE)
扫描透射电子检测器 (STEM)
样品台导航系统
离子清洗装置
能谱仪(EDS)
波谱仪 (WDS)
阴极荧光检测器
各种样品架