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| JSM-7100F/TTL | JSM-7100F | JSM-7100F/LV | |
| 分辨率 | 1.2 nm(30kV) 3.0 nm (15kV、5nA、WD10mm) | 1.2 nm(30kV) 3.0 nm (15kV、5nA、WD10mm) | 1.2 nm(30kV) 3.0 nm (15kV、5nA、WD10mm) |
| 放大倍率 | ×10～×1,000,000 | ×10～×1,000,000 | ×10～×1,000,000 |
| 加速电压 | 0.1kV～30kV | 0.2～30 kV | 0.2～30 kV |
| 样品照射电流(探针电流) | 数 pA～200nA(15kV) | 数 pA～200nA(15kV) | 数pA～200nA(15kV) 数pA～20nA(Orifice IN) |
| 自动光阑角zei佳控制透镜 | 内置 | 内置 | 内置 |
| 检测器 | 高位检测器(UED) 低位检测器(LED) | 低位检测器(LED) | 低位检测器(LED) |
| 能量过滤器 | UED过滤器电压可变功能内置 | - | - |
| Gentle Beam （柔和光束） (样品偏压) | 内置 | 内置 | 内置 |
| 数字图像 | 图像显示区域 1,280×960像素, 800×600像素 | 图像显示区域 1,280×960像素, 800×600像素 | 图像显示区域 1,280×960像素, 800×600像素 |
| 样品交换室 | 内置 | 内置 | 内置 |
| 样品台 | 全对中测角样品台 5轴马达驱动 | 全对中测角样品台 5轴马达驱动 | 全对中测角样品台 5轴马达驱动 |
| X-Y | X: 70mm、Y: 50mm | X: 70mm、Y: 50mm | X: 70mm、Y: 50mm |
| 倾斜 | －5 to ＋70° | －5 to ＋70° | －5 to ＋70° |
| 旋转 | 360° | 360° | 360° |
| 工作距离 | 2mm ～ 41mm | 2mm ～ 41mm | 2mm ～ 41mm |
| 真空系统 | SIP x 2台, TMP, RP x 1台 | SIP x 2台, TMP, RP x 1台 | SIP x 2台, TMP, RP x 2台 |
| 节能设计 | 正常运行时: 1.1kVA 节能模式时: 0.7ｋV | 正常运行时: 1.1kVA 节能模式时: 0.7ｋV | 正常运行时: 1.1kVA 节能模式时: 0.7ｋV |
能谱仪（EDS)
波谱仪（WDS）
电子背散射衍射系统（EBSD)
阴极荧光系统（CLD）
SNS
电子束曝光系统