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| 分辨率 | 高真空模式 3.0 nm (30 kV) 8.0nm(3.0 kV) 15.0 nm (1.0 kV) |
| 分辨率 | 低真空模式 4.0 nm (30 kV BED) |
| 放大倍率 | 5 ～ 300,000 倍 |
| 预设倍率 | 6 档（用户可以设定） |
| 电子枪 | 可以完全自动和手动调节 |
| 加速电压 | 0.3 kV ～ 30 kV |
| 灯丝 | 工厂预对中发卡式钨灯丝 |
| 束流电流 | 1 pA ～ 1 μA |
| 低真空压力设定范围※1 | 10 ～ 650 Pa |
| 聚光镜 | 高精度变焦聚光镜 |
| 物镜 | 锥形物镜 |
| 物镜光阑 | 3 档 带有XY 微调功能 |
| 像散记忆 | 有 |
| 图像电位移 | ±50 μm (WD 10 mm) |
| 自动功能 | 自动聚焦、 自动亮度/ 衬度、自动消像散 |
| 样品交换 | 打开样品室门进行交换 |
| zei大样品尺寸 | 200 mm 直径 80 mm 高度 （WD10 mm） |
| 样品台 | 大型全对中测角样品台 X：125 mm Y：100 mm Z：80 mm 倾斜：－10 ～ 90° 旋转：360° |
| 标准菜谱 | 有 |
| 图像模式 | 二次电子像、REF 像、成份像、形貌像、阴影像 |
| 比较窗口（屏幕快照） | 6 张（保存、调出、可以再现成像条件） |
| OS | Windows7® |
| 显示器 | 23 英寸触摸屏 （显示器分辨率1,920 × 1,080） |
| 像素数 | 640× 480 1,280 × 960 2,560 × 1,920 5,120 × 3,840 |
| 图像显示模式 | （多分屏显示、全屏显示、灵活窗口显示、 信号叠加显示） |
| 数字图像调整 | 有（伽玛校正、伪彩色） |
| 直方图显示 | 有 |
| 测量功能 | 有 （两点间距离、平行线间距离、角度、直径等） |
| 3D 测量 | 有※2 |
| 互补色立体图像 | 有 |
| 图像编辑软件 | SMile View™ |
| 语言切换 | 可以在UI 上（日语/ 英语） |
| 图像格式 | BMP、TIFF、JPEG |
| 图像自动保存 | 有 |
| 抽真空系统 | 完全自动 TMP：1 台 RP：1 台或者2 台※1 |
| 真空模式切换 | 在操作界面上可以 |
＊Windows7® 为美国微软公司的注册商标。
※1 LV 和LA 型为标配
※2 测量需要专用的软件
※ 产品外观及规格如有变更请恕不事先通告。