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扫描电子显微镜（SEM）的性能
| 分辨率 | 8 nm（30 kV） |
| 放大倍率 | ×100～×100,000 |
| 操作条件记忆 | 照明系统、样品台等 |
| 加速电压 | 10、20、30 kV |
| 灯丝 | 工厂预对中 |
| 电子枪 | 完全自动、也可以手动调整 |
| 聚光镜 | 可变焦 |
| 物镜光圈 | 1档、带XY微调 |
| 消象散记忆 | 有 |
| 图像电位移 | ±50 μｍ |
| 自动功能 | 聚焦、自动衬度/亮度、自动消像散 |
| 图像存储（SEM） | 640×480像素数、1,280×960像素数、2,560×1,920像素数 |
光学显微镜（ＯＭ）的性能
| 光学系统 | 无限远校正光学系统 |
| 观察 | 明视野图像、荧光图像 |
| 照明 汞灯 | 落射照明 100 W（寿命个300小时） |
| 聚焦 | 电动聚焦 行程30 mm Stroke |
| 镜片组件 | 荧光（U-MWU2）、明视野（U-MBF3） ※ zei多可装6个（选项） |
| ND 滤镜 | 6, 12, 25, 50, 100%, 电动切换 |
| 物镜 | 无盖片液浸透镜 |
| CCD相机 | 高灵敏度彩色CCD相机 1,600×1,200像素 |
| 自动功能 | 曝光、白平衡 |
样品保持
| 薄膜皿 | Φ35 mm 窗尺寸 0.25 mm×0.25 mm |
| 使用液量 | zei多 3 cc |
| 样品台 | XY±2.5 mm电动移动 |
其它
| 计算机 | IBM PC／AT兼容 |
| OS | Windows® Vista ＊ |
| 显示器 | 9英寸ＬＣＤ 2台 |
| 多个图像显示 | 两幅图像、四幅图像、放大图像 |
| 测长功能 | 有 |
| 图像格式 | BMP, TIFF, JPEG |
| 图像自动保存 | 有 |
| 抽真空系统 | 完全自动 TMP:1台、RP1台 |
| 节能、休眠模式 | 关闭真空、关闭显示 |
| 安全设备 | 防止停电、真空度下降及薄膜损伤。 |
＊Windows Vista 为美国微软公司的注册商标。