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| 分辨率 | 高真空模式 :3 nm(30 kV *1), 4 nm(20 kV), 8 nm(3 kV) ,15 nm(1 kV) 低真空模式:4 nm(30 kV *1), 5 nm(20kV) |
|---|---|
| 倍率 | × 5 ～× 300,000（图像尺寸128 mm × 96 mm） |
| 图像模式 | 二次电子像、REF像 成份像、形貌像、立体像 |
| 低真空压力 | 10 ～ 100 Pa |
| 加速电压 | 0.5 kV ~ 30 kV *1 (53 档) 0.5 kV ~ 20 kV (43 档) |
| 灯丝 | 工厂预对中、发卡式钨丝 |
| 电子枪 | 完全自动、可以手动调整 |
| 聚光镜 | 两级电磁变焦聚光镜 |
| 物镜 | 超级圆锥形小透镜 |
| 物镜光圈 | 1档、带XY微调 |
| 消象散记忆 | 有 |
| 图像电位移 | ± 50 μm（工作距离10 mm） |
| 预设倍率 | 5档、用户可以设定 |
| 样品台 | 全对中样品台 X : 80 mm Y : 40 mm Z : 5 mm ~ 48 mm 倾斜: -10°～ + 90°、旋转: 360° |
| zei大样品尺寸 | 直径150 mm |
| 样品交换 | 抽拉式样品台 |
| 图像存储 | 5,120 × 3,840 × 16 |
| 画素数 | 640 × 480、1,280 × 960、 2,560 × 1,920、 5,120 × 3,840 |
| 图像処理功能 | 数字放大、标准图像、双实时图像、分立实时图像、画中画模式、信号叠加功能、 伪彩色、双放大倍率 |
| 测长功能 | 测量两点间距离、测量线宽和圆、测量角度和面积、计数。 |
| 比较图像 | 一幅图像+SNS图像（选配件*2） |
| 文件格式 | BMP、TIFF、JPEG 图像自动保存 有 |
| EDS功能*1 | 谱图采集、点分析、定性分析、定量分析、元素面分布、电子束追踪功能 |
| 计算机 | 桌面式触摸电脑 |
| OS | Windows®7 |
| 显示器 | 23英寸触控屏 |
| 网络 | 以太网 无线局域网 （选配件） |
| 标准菜单 | 有 |
| 客户菜单 | 观察条件、样品台、真空模式 |
| 自动功能 | 灯丝调整、自动对中、自动聚焦、自动消像散、自动衬度/亮度。 |
| 真空系统 | 完全自动、TMP: 1台、RP: 1台 |
低真空用二次电子检测器
样品台导航系统*2
样品室观察系统
导航单元
图像编辑软件（Smile View）*3
操作台（750 mm宽、900 mm长）
马达驱动样品台（2轴、XYZ3轴、XYR3轴驱动）
※1: 加速电压调节范围扩展套件
※2: 安装马达驱动样品台时
※3:JSM-6010Plus/LA标配