JSM-7200F | JSM-7200FLV | |
分辨率 | 1.0 nm(20kV),1.6 nm(1kV) | 1.0 nm(20kV),1.6 nm(1kV),1.8nm (30kV, LV ) |
放大倍率 | ×10~×1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×30~×3,000,000(1280 x 960pixels display); | |
加速电压 | 0.01kV~30kV | |
束流 | 1pA~300nA | |
自动光阑角zei佳控制透镜ACL | 内置 | |
大景深模式 | 内置 | |
检测器 | 高位检测器(UED)、低位检测器(LED) | |
样品台 | 5轴马达驱动样品台 | |
样品移动范围 | X:70mm Y:50mm Z:2mm~41mm 倾斜-5~+70° 旋转360° | |
低真空范围 | - | 10pa~300pa |
主要选配件
可插拔式背散射电子探头(RBED)
高位二次电子探头(USD)
低真空二次电子探头(LV-SED)
能谱仪(EDS)
波谱仪(WDS)
电子背散射衍射系统(EBSD)
阴极荧光系统(CLD)
样品台导航系统(SNS)
电子束曝光系统
分辨率 | 1.6 nm (加速电压1 kV), 1.2 nm (加速电压 30 kV) 3.0 nm (加速电压15 kV, WD 10 mm, 探针电流 5 nA /分析条件) |
---|---|
倍率 | ×10 to ×1,000,000 |
成像模式 | 二次电子图像,背散射电子图像 |
加速电压 | 0.01 - 30 kV |
探针电流/电子束流 | 1 pA - 300 nA |
电子枪 | 浸没式肖特基场发射电子枪In-lens Schottky field emission gun |
马达控制 | 5-轴马达驱动 |
样品台移动 | X – Y : 35 mm x 50 mm, Z: 2.0 - 41 mm Tilt: – 5 - 70°, 旋转: 360° 无限制 |
样品交换室 | 包括在标准配置中 |