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日本电子JSM-7200F扫描电子显微镜参数指标

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JSM-7200FJSM-7200FLV
分辨率1.0 nm(20kV),1.6 nm(1kV)1.0 nm(20kV),1.6 nm(1kV),1.8nm (30kV,  LV )
放大倍率×10~×1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×30~×3,000,000(1280 x 960pixels display);
加速电压0.01kV~30kV
束流1pA~300nA
自动光阑角zei佳控制透镜ACL内置
大景深模式内置
检测器高位检测器(UED)、低位检测器(LED)
样品台5轴马达驱动样品台
样品移动范围X:70mm  Y:50mm  Z:2mm~41mm 倾斜-5~+70°  旋转360°
低真空范围-10pa~300pa
  • 主要选配件

  • 可插拔式背散射电子探头(RBED)

  • 高位二次电子探头(USD)

  • 低真空二次电子探头(LV-SED)

  • 能谱仪(EDS)

  • 波谱仪(WDS)

  • 电子背散射衍射系统(EBSD)

  • 阴极荧光系统(CLD)

  • 样品台导航系统(SNS)

  • 电子束曝光系统


分辨率1.6 nm (加速电压1 kV),
1.2 nm (加速电压 30 kV)
3.0 nm (加速电压15 kV, WD 10 mm, 
             探针电流 5 nA /分析条件)
倍率×10 to ×1,000,000
成像模式二次电子图像,背散射电子图像
加速电压0.01 -  30 kV
探针电流/电子束流1 pA  -  300 nA
电子枪浸没式肖特基场发射电子枪In-lens Schottky field emission gun
马达控制5-轴马达驱动
样品台移动X – Y : 35 mm x 50 mm, Z: 2.0 - 41 mm
Tilt: – 5 - 70°, 旋转: 360° 无限制
样品交换室包括在标准配置中






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