JEM-F200冷场发射透射电镜参数指标

参考技术指标：北京交通大学机电学院透射电镜项目（修购）ZTXY-2017-H56150

透射电子显微镜主机

1.电子枪类型：场发射电子枪

亮度：超高亮度电子枪

束流：≥2nA(束斑尺寸为 1nmφ 时)

2.分辨率

*点分辨率：≤0.23nm@200KV；

*线分辨率：≤0.104nm@200KV；

信息分辨率：≤0.12nm@200KV

束斑漂移：<1nm/min

3.加速电压：zei高 200kV

4.稳定性：

加速电压稳定性：≤1 ppm/min（峰峰值）

物镜电流稳定性：≤1 ppm/min（峰峰值）

5.TEM 模式下放大倍数：50- 2,000,000×

6.样品移动：X: ≥2mm；Y: ≥2mm；Z：≥0.4mm

双倾斜样品杆zei大倾斜角度 X：≥+35°，Y：≥+30°

7.扫描透射附件(STEM) 技术规格

7.1 明场分辨率：≤0.19nm（200kv）；≤0.31nm（80KV）

7.2 暗场分辨率：≤0.19nm（200kv）；≤0.31nm（80KV）

HAADF 分辨率：≤0.19nm（200kv）；≤0.31nm（80KV）

8.真空系统

典型换样时间：≤2分钟

电子枪真空度≤10-8Pa

样品室真空度≤2 x10-5Pa

9.软件操作

9.1 双模式操作，既可以全数字化操作系统，基于 Windows 计算机控制系统。对电镜进行远程操作，无需荧光屏，不需要暗室。同时保留荧光屏，也可以在荧光屏上直接观察寻找样品。

9.2 具有演示视频和操作说明，即使初学者在学习后很容易完成学会电镜的操作。

9.3 具有专用的用户图形界面和操作键盘。可以通过鼠标、键盘、以及专用的操作键盘完成电镜的所有操作。可以方便实现包括样品移动、光束移动、放大倍数、模式切换及探测器切换、聚焦、合轴操作等。能非常便捷的将数据、软件各模块在两台液晶显示器之间显示。

9.4 操作可以实现自动化和程序化，抽真空后，可自动实现亮度对比度、自动调节样品 Z 方向位置、自动样品倾斜、自动聚焦、自动象散矫正的调节，搜寻观察区域然后完成图像观察和记录。各种模式例如 TEM、STEM、DIFF 可以实现鼠标点击（或功能键盘控制）的瞬间快速切换。

9.5 可以实现 ABF、TEM、STEM-BF、STEM-HAAFD 的同时采集和记录，zei多一次可以同时显示四副图像，方便对比观察。

9.6 具有实时显示的电镜状态图，实时显示电子束的状态，光阑的进出情况，并可以通过鼠标直接切换光阑，完成光阑的对中。

10.售后服务

10.1 卖方提供稳定的售后服务。

10.2 卖方应在合同生效后的三个月内，对可能的设置室进行地面振动、杂散磁场的测量，并向买方提出详细的安装要求和提供技术咨询。

10.3 仪器到达用户所在地后，在接到用户通知后两周内进行安装调试，直至通过验收。

10.4 设备安装后，在用户现场对用户进行免费培训，培训内容包括仪器的操作和仪器基本维护等，使用户达到独立操作水平。

10.5 卖方提供一年的免费保修，保修期自仪器验收签字之日起计算。

11.产品配置要求

11.1 透射电镜主机一台，包括：

*11.1.1 电子显微镜基本单元

11.1.2 冷却水循环系统、压缩机及必要的外围附属设备

11.1.3 单倾杆一根，双倾杆普通/铍各一根

*11.1.4 加热样品杆一根，必须采用电阻式加热，可加热至 900摄氏度，可直接安装直径为 3mm 的块体样品，样品无需 FIB 加工切割，无需超薄窗材料密封，无消耗品

11.1.5 控制电镜和相关附件所需的高速工作站一台,远程数据处理工作站一台

*11.1.6 备用场发射电子枪一套

11.1.7 备用物镜光阑一套

11.1.8 提供保证设备正常运行和保养所需的全套标准备品备件、专用工具一套

11.1.9 提供控制电镜和处理数据的专用软件

11.1.10 具备元素三维重构功能