离子蚀刻机 20-M/NS-12 主要技术参数：
基片尺寸
直径 4英寸 X 12片直径 18英寸 X 3片
样品台
直接冷却
离子源
20cm 考夫曼离子源
电源
WELL-5100(可更换为国内电源
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参考成交价格：
100~150万元[人民币] 
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