光谱单元：

• 光学系统：真空型Czerny-turner分光器，双光栅

• 焦距：1000 mm

• 光栅刻线数和波长范围：3600 刻线/毫米（160~458nm）；1800刻线/毫米（458~850nm）

• 线色散率倒数：0.22 nm/mm（3600刻线）；0.44 nm/mm（1800刻线）

• 检测器：光电倍增管

• 真空紫外区元素对应：真空型分光器

• 分器温度：恒温控制

• slit：进口slit：20 um，出口slit：30 um

• 波长扫描：Sine-bar方法，计算机控制的脉冲马达驱动，zei小步进波长：0.0002 nm，zei高速度：50 ng/sec（3600刻线）

• 排气系统：泵抽气能力：160 升/分钟，带泵油反冲保护阀

ICP光源：

• 炬管：旋流雾化室，同心型雾化器

• 等离子体炬管：石英等离子体标准炬管

• 观察位置切换：上和下，两步（在径向观测时）

• 气体控制：三路等离子体流通道，流速设定范围（计算机控制），冷却气体：2~20 升/分钟；等离子体气体：0.2~1.4升/分钟；载气0.1~1.5升/分钟；冲洗气体：3.5升/分钟。

• 观测方向：纵向观测、轴向观测切换（选配） 

发生器：

• 高频发生器：晶体振荡器

• 晶体发生器频率：27.120MHz±0.05％

• 输出：0.8, 1.0, 1.2, 1.4, 1.6, 1.8kW，输出稳定性：<  ±0.3%

• 射频电路元件晶体管

• 点火方式：全自动点火

• 自动匹配、自动调谐

• 安全功能：晶振频率发生器温度缺省检测.

光度计和控制：

负高压16档可调，光度法序列测定元素，动态范围达9个数量级

软件：定性分析、定量分析、110,000条谱线专家数据库、漂移校正、内标校正、背景校正、空白扣除、共存元素校正。