技术参数：

1.         波长：405nm

2.         分辨率：120nm

3.         Z轴zei小步进精度：1nm

4.         成像速度：常规共聚焦的2-3倍

5.         物镜：2.5x-100x 

6.         高度扫描范围：高达5mm

7.         载物台：150mm×150mm超大行程

8.     控制系统：Smartproof 5应用软件

9.     图像处理和数据测量 ：

                2D：距离，高度，角度，构造元素，基于ISO 4287的轮廓粗糙度

                3D：水平距离，3D距离，高度，角度，构造点，面积，体积，基于ISO 25178的面粗糙度

                其他：水平调整，形状去除，滤波，去噪，报告