蔡司SIGMA 500高分辨率场发射扫描电镜参数指标

【技术参数】

分辨率： 0.8nm @15   kV   1.6 nm @1kV

放大倍数：10-1,000,000×

加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）

探针电流： 4pA-20nA （40nA&100nA可选）

低真空范围：2-133Pa（Sigma 500VP可用）

样品室： 358 mm（φ），270.5 mm（h）

样品台：5轴优中心全自动   

X=125 mm（可选130mm）

Y=125 mm（可选130mm）

Z=50 mm

T=-10o-90o

R=360o 连续

系统控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制

• 背散射电子图像分辨率

  1.6 nm @1kV

• 二次电子图象分辨率

  0.8nm @15 kV

• 加速电压

  调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）

• 放大倍数

  10-1,000,000×