日立高新TM3030/3000...
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项目说明
读入功能4单元画像数据自动选择,读入功能(带有观察条件自动取得功能)
测量性能深度精度 ±20%(参考值)
取决于校准精度,样品材质,观察模式。
测量性能 可检测角度 ±50° (参考值)
观察模式为采用“标准模式”时的参考值。
观察模式为“带电减轻模式”,而观察条件为“表面”时,上述参考精度不在对象之列。
测量功能断面显示
各种校准功能
测量图像上指定的任意两点间的X(横向),Y(纵向),长度和角度。
测量功能 测量表面积
测量断面上两点间的X(横向),Y(纵向),长度和角度。
测量断面上的表面粗糙度
断面显示的深度方向放大功能
基线补偿功能(直线,曲线)
鸟瞰图显示
彩色等高线显示
三维显示功能旋转,放大
显示履历动画记录功能(AVI文件)
对应OSWindows® VISTA Home Premium(SP1)(32-bit)/Windows® 7 Professional(32-bit)

3D图像抓取功能

项目说明
抓取功能背散射电子检测器的4单元画像数据自动取得
抓取像素数640×480,1,280×960像素
抓取图像的亮度调整自动
  • *

  • 超过检测角度的陡峻样品,其凹凸结构有时可能无法正确显示。


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