蔡司（ZEISS）场发射扫描电镜∑IGMA 300参数指标

分辨率： 1.2nm @15 kV   2.2nm @1kV

放大倍数：10-1,000,000×

加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）

探针电流： 4pA-20nA （40nA&100nA可选）

低真空范围： 2-133Pa （Sigma 300VP可用）

样品室： 365 mm（φ），275mm（h）

样品台：5轴优中心全自动