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主要参数
| 元素分析范围 | WDS:（Be）B to U,EDS:B to U |
| X射线范围 | WDS谱：0.087-9.3nm,EDS能谱：20keV |
| X射线光谱仪数量 | WDS：1-5可选,EDS：1 |
| 样品zei大尺寸 | 100mm*100mm*50mm(H) |
| 加速电压 | 1-30Kv(每次0.1Kv) |
| 探针电流稳定性 | ±0.3%/h(10kV，50nA) |
| 二次电子图像分辨率 | 3 nm at WD 11 mm, 30 kV |
20 nm at 10 kV, 10 nA, WD 11 mm 50 nm at 10 kV, 100 nA, WD 11 mm | |
| 放大倍数 | ×40 ~ ×300,000 (WD 11 mm) |
| 扫描图像像素分辨率 | zei高5,120 × 3,840 |