zei高流速(氮气):27 L/min(1031)、12 L/min(1031 Hi Flow)
zei高源气流速:46 L/min(1031)、26 L/min(1031 Hi Flow)
zei高废气流速:23 L/min(1031)、16 L/min(1031 Hi Flow)
zei大气体出口压力:110 psi
zei小空气入口流速:115 L/min
zei小/zei大空气入口压力:8.27 - 10.0 bar / 120 - 145 psi
zei大压降:8 psi
zei低/zei高操控温度:5ºC - 30ºC / 41ºF - 86ºF
颗粒:< 0.01μm
邻苯二甲酸酯:无
滞留液体:无
电源要求:无
尺寸(高×宽×深):760 x 365 x 200 mm/ 29.9 x 14.4 x 7.8英寸
重量(kg/ lbs):14 kg (30.8 lbs)
氮气压力露点:-40℃