流路材料：红宝石、316L不锈钢、氧化锆陶瓷

zei小增量：

• Grad10/Grad50：0. 1ml/min
• Grad200：1ml/min

增量范围：

• Grad10：0.1 ~ 10ml/min
• Grad50：0.1 ~ 50.0ml/min
• Grad200：1 ~ 200ml/min

混合范围： 0.0 ~100%

梯度精度：

• Grad10/Grad50：1%
• Grad200：2%

压力范围：0 ~ 5.0Mpa
 
流量范围：

• Grad10：0.1 ~ 10.0ml/min
• Grad50：0.1 ~ 50.0ml/min
• Grad200：1 ~ 200ml/min

压力脉动：

• Grad10：≤ 0.08Mpa
• Grad50：≤ 0.05Mpa
• Grad200：≤ 0.2Mpa

压力准确度：≤ 0.05Mpa

 
流量设定误差：

• Grad10：≤ 1%
• Grad50：≤ 1% （ 0.1 ～ 10ml/min 内）
• Grad200：≤ 2% （ 1 ～ 50ml/min 内），≤ 1.5% （ 50 ～ 200ml/min 内）  

流量重复性误差：

• Grad10/Grad50：≤ 1%
• Grad200：≤ 1.5% （ 1 ～ 50ml/min 内），≤ 1% (50 ～ 200ml/min 内 )

 
工作电压：220V±10%,50/60Hz
 
功率：75W
 
重量：12Kg
 
外形尺寸：360 mm × 260 mm × 160 mm