FEI Quanta 650 FEG环境扫描电镜 参数指标

1、电子光学

1）高分辨肖特基场发射电子枪

2）优化的高亮度、大束流镜筒

3）45°锥度物镜极靴，及“穿过透镜”的压差真空系统，加热式物镜光阑

4）加速电压: 200 V - 30 kV

5）束流: zei大200 nA并连续可调

6）放大倍数: 6 x  1,000,000 x (四幅图像显示)

2、分辨率

1）高真空

30 kV下0.8 nm (STEM)*

30 kV下1.0 nm (SE)

30 kV下2.5 nm (BSE)*

1 kV下3.0 nm (SE)

2）高真空下减速模式*

1 kV下3.0 nm (BSE)*

1 kV下2.3 nm (ICD)*

200 V下3.1 nm (ICD)*

3）低真空

30 kV下1.4 nm (SE)

30 kV下 2.5 nm (BSE)

3 kV下3.0 nm (SE)

4）环境真空 (ESEM)

30 kV下1.4 nm (SE)

3、检测器

1）E-T二次电子探头

2）大视场低真空气体二次电子探头 (LFD)

3）气体二次电子探头 (GSED)

4）样品室红外CCD相机

5）高灵敏度、低电压固体背散射探头*

6）气体背散射探头*

7）四分固体背散射探头*

8）闪烁体型背散射探头/CLD*

9）vCD (低电压、高衬度探头)*

10）镜筒内探头(ICD)，用于减速模式下二次电子检测*

11）电子束流检测器*

12）分析型气体背散射探头 (GAD)*

13）STEM探头*

14）Nav-Cam 光学相机彩色成像，用于样品导航*

15）阴极荧光探测器*

16）能谱*

17）波谱*

18）EBSD*

19）极靴底部安装四环分隔式定向型背散射电子探头 (DBS)

4、真空系统

1）1个 250 l/s 涡轮分子泵, 2个机械泵

2）zl的“穿过透镜”的压差真空系统

3）电子束在气体区域的行程：10 mm或2 mm

4）可升级成无油机械泵

5）2个离子泵

6）样品室真空度 (高真空模式) < 6e-4 Pa

7）样品室真空度(低真空模式) < 10 to 130 Pa

8）样品室真空度(环境真空模式) < 10 to 4000 Pa

9）典型换样时间: 高真空模式≤ 150秒；低真空及环境真空模式≤ 270秒 (FEI标准测试程序)

5、样品室

1）左右内径379mm

2）10 mm分析工作距离

3）10个探测器 / 附件接口

4）EDS采集角: 35°

6、样品台

1）X/Y = 150 mm

2）Z = 65 mm

3）Z向间隙93.5mm

4）倾斜：- 5° - + 70°

5）连续旋转360°

6）重复精度: 2 μm (X/Y方向)

7）伪全对中样品台

7、图像处理器

1）zei大6144 x 4096像素

2）图像文件格式：TIFF (8,16 or 24 bit), BMP or JPEG

3）单窗口或四窗口图像显示

4）四活动窗口

5）实时或静态按彩色或按灰度等级信号混合

6）256 帧平均或积分

7）数字动画记录 (.avi格式)

8）直方图及图像测量软件

9）DCFI (漂移补偿积分)

8、支持软件

1）SmartSCAN 智能扫描技术

2）蒙太奇图像导航

3）软件温度控制

4）FEI动画生成工具