流量测试准确度

满量程的±1% 

流量控制的重复性

满量程的±0.2%

流量测试的线性

满量程的±0.5%

稀释空气的流量量程

0到10SLPM

可选量程

0到20SLPM，0到5SLPM

汽缸内气体的流量量程

0到100cc/min

选配量程

0到50cc/min, 0到200cc/min

零气要求

10SLPM@30 psi

选配

20SLPM@30 psi

输入压力

20-40psig

校准气体输入端口

1

稀释气体输入端口

1

臭氧发生器模块

最大输出

6ppm LPM

最小输出

100ppb LPM

响应时间

T₉₈＜180s

光学反馈

标准

UV光度计选项

量程

0-100 ppb至 0-10ppm (可选)

精度

1.0 ppb

线性

读数的1.0%

上升/下降时间

<20秒（光度计响应）

响应时间

T₉₅＜180s（系统响应）

零点漂移

<1.0ppb/24小时

电气参数

电源规格

85V-264V, 47Hz-63Hz

模拟输出量程

10V, 5V. 1V, 0.1V(可选)

通讯参数

标配I/O

1×以太网: 10/100Base-T

2×RS 232 (300-115, 200波特率)

2×USB设备端口

8×数字控制输出

12×数字控制输入

8×数字状态输出

选配I/O

1×USB com口

1×RS 485

多点RS 232

物理参数

操作温度范围

5-40℃

尺寸

229×432×533mm

重量

16.78 kg

21.14kg带光度计，GPT和臭氧发生器