Park Systems原子力显微镜 XE-15 技术特点

【技术特点】-- Park Systems原子力显微镜 XE-15

一、创新的多位点样品台设计，提供工作效率

●一次操作zei多可以扫描16个样品

●样品安放简单，扫描迅速

●极大提高了数据的精确性和重复性

二、支持超大样品，满足业界发展需要

●zei大支持200 mm晶圆，满足用户目前和今后的需要

●满足半导体相关用户实际需要的专门设计

三、丰富的功能模式选择

●完善支持各种SPM功能

●支持多种选配测量模式

●支持各种可选配件，扩展性能优越

【技术特点对用户带来的好处】-- Park Systems原子力显微镜 XE-15

【典型应用举例】-- Park Systems原子力显微镜 XE-15