AL120半导体晶圆搬送及检测显微镜参数指标

适应范围广、搭配灵活

对应多种尺寸组合

我们推出了200 mm专用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（对应小于150            mm的晶圆）的3种型号。除此以外，您还可以根据检查模式，选用微观检查专用型号“L型“或微观•宏观检查兼用型号“LMB型“。