国仪量子场发射扫描电镜SEM5000参数指标

规格参数

电子光学系统

分辨率             1.0nm @ 15 kV

                 2.5 nm @ 1 kV

放大倍率            1 x ～ 1,000,000 x

加速电压            0.1 kV ～ 30 kV

电子枪类型          高亮度肖特基场发射电子枪

磁场屏蔽            被动式磁屏蔽

                 主动式磁屏蔽（选配）

成像系统

探测器             镜筒内高角度电子探测器（Inlens-SE Detector）

                 侧向二次电子探测器（ET Detector）

扩展               背散射电子探测器（BSE Detector）

                 能谱仪（EDS）

                 背散射衍射（EBSD）

                 电子束感生电流（EBIC）

                 阴极荧光（CL）

图像保存格式         TIFF、JPG、BMP、PNG

样品室

真空控制方式         全自动控制，无油真空系统

摄像头             双摄像头

                ( 光学导航 + 样品仓内监控 )

样品台配置           五轴全自动样品台

行程

                 X: 130 mm

                 Y: 105 mm

                 Z: 40 mm（大行程可选配）

                 R: 360°

                 T: -10°～ +90°

减震

                 主副减震支架

                 双气室隔膜式减震器

                 主动式减震器（选配）

软件

语言               中文

操作系统            Windows

导航               光学导航、手势快捷导航

自动功能            自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散