【技术参数】

    分辨率：3.0nm@ 30KV(SE and W)     

             4.0nm@ 30KV(VP with BSD) 

     加速电压：0.2—30KV 

     放大倍数：5—1000000x 

     探针电流：0.5PA-5μA

     X-射线分析工作距离：8.5mm    35度接收角 

     低真空压力范围：10—400Pa (LS25：10-3000Pa)

     工作室：420mm(φ)×330mm(h) 

     5轴试样载物台：X=130mm  Y=130mm  Z=50mm  T=-10°- 90°°R=360° 

     zei大试样高度：210mm，试样zei大直径：300mm 

     系统控制：基于Windows 7 的SmartSEM操作系统