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| 分辨率 | 3.0 nm（30 kV）、8 nm（3 kV）、15 nm（1 kV） |
|---|---|
| 低真空模式 *1 | 4.0 nm（30 kV） |
| 放大倍率 | × 5 ～× 300,000（图像尺寸128 mm × 96 mm） |
| 预设倍率 | 5档、用户可以设定 |
| 标准菜单 | 有 |
| 客户菜单 | 观察条件（照明系统、图像模式、样品室压力*1) 样品台 |
| 图像模式 | 二次电子像、REF像、成份像*1、形貌像*1、立体像*1 |
| 加速电压 | 0.5 kV ～ 30 kV |
| 灯丝 | 工厂预对中 |
| 电子枪 | 完全自动、手动调整可能 |
| 聚光镜 | 变焦 |
| 物镜 | 超级圆锥型物镜 |
| 物镜光阑 | 3档、带XY微调 |
| 消象散记忆 | 有 |
| 图像电位移 | ± 50 μm (工作距离 10 mm) |
| 自动功能 | 聚焦、亮度/衬度、消象散 |
| 样品台 | 大型全对中5轴马达驱动 X: 125 mm、Y: 100 mm、Z: 5 mm ～ 80 mm 倾斜: −10°～＋90°、旋转: 360° |
| 参照图像（导航器*3) | 四幅图像 |
| 样品交换 | 拉出式 |
| zei大样品尺寸 | 直径150 mm |
| PC | IBM PC/AT 兼容 |
| OS | Windows®7 |
| 显示器 | 19英寸LCD、1台或者2台*2 |
| 图像存储 | 640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920, 5,120 × 3,340 |
| 两种实时图像显示 | 有 |
| 全屏显示 | 有 |
| 伪彩色 | 有 |
| 分屏显示 | 两幅图像、四幅图像 |
| 数字放大显示 | 有 |
| 双放大倍率 | 有 |
| 网络 | 以太网 |
| 测长功能 | 有 |
| 图像格式 | BMP、TIFF、JPEG |
| 图像自动保存 | 有 |
| 真空系统 | 完全自动、DP: 1台、RP: 1或者2台*1 |
| 真空模式切换*1 | 通过操作菜单、1分钟以内 |
| 低真空压力*1 | 10 ～ 270 Pa |
| JED-2300 EDS*2 | 有（具体规格请参照JED-2300样本型录） |
背散射电子检测器*1
低真空二次电子检测器
能谱仪（EDS）
波谱仪（WDS）
EBSD
气锁式样品室
样品台导航系统
样品室观察系统
操作面板
LaB6电子枪
图像编辑软件(SMile View™)*2
操作台（宽750 mm、宽900 mm）
*1: JSM-6610LA/JSM-6610LV标配
*2: JSM-6610LA/JSM-6610A标配
.高真空模式：3.0 nm at 30 kV;8.0 nm at 3 kV;15.0 nm at1 kV
低真空度：1 to 270Pa，高、低真空切换
全对中样品台：X:80mm Y:40mm T:-10 to +90度 R:360度
加速电压：0.5kV to 30Kv束流1pA—1uA
放大倍数：5 ---- 300,000倍