日本电子JSM-7600F超高分辨热场发射扫描电子显微镜参数指标

　　分辨率：1.0nm at 15kV；1.5nm at 1kV

　　加速电压：0.1KV-30kV

　　放大倍数：25-100万倍

　　样品室尺寸：zei大200mm直径样品

　　束流强度：1pA到200nA